拆解EUV光刻机背后的工业真相:我们离突围到底还有多远?
在光刻机最核心的双工件台领域，北京华卓精科已经打破了ASML的技术封锁。他们研发的双工件台系统，虽然在精度和速度上与ASML最顶级的EUV还有差距，但已经可以满足28纳米甚至更先进制程的需求，并已成功应用于国产光刻机上。这是一个从0到1的巨大跨越。中科院长春光机所和上海光机所，这对光学的“绝代双骄
1400台光刻机引争议!ASML官宣后,拆机真相曝光
一群国内顶尖的工程师，眼神空洞地围着一地散落的零件，这些零件在无影灯下闪着冰冷的光，不久前，它们还是一台能印刻出微观世界的DUV光刻机。现在，它们只是一堆冰冷的“遗骸”。他们的初衷，带着一种破釜沉舟的悲壮，想通过拆解这台工业艺术品，来破解我们自己的技术密码。拆解的过程，据说顺利得让人产生了一种...
光刻机拆解传闻:逆向工程思维应休矣,自主创新需夯实
近日一则某企业试图逆向拆解荷兰ASML的DUV（深紫外）光刻机，结果因操作失当导致设备严重损坏，最终不得不求助ASML修理的“黑色幽默”般的传闻在国内半导体圈中引起了强烈关注和讨论。尽管该事件细节尚未被权威渠道证实，但结合当下国内光刻机产业在发展中所遭遇的种种，还是引发了我们对其现在和未来的再思考。从机床黑...
荷兰清醒过来,EUV光刻机难题背后的真相
我们可以理解为傲慢，但是他过去能说出这样的话，也是因为光刻机的难度非常之高。在包括荷兰在内的西方国家以及国内部分业内人士看来，EUV光刻机这样的产品是国际分工、全球化供应链的产物，单一的国家造出光刻机，是违背常识且不符合客观规律的。“光刻机研发到底有多难？”曾经一度是国内业界的热门话题，包括国内...
一家隐形冠军!EUV光刻机的背后,ASML都只能依赖它
你可能以为ASML是芯片界的绝对王者，真相是，没有一家德国老牌企业，ASML连一台EUV光刻机都造不出来。全球大约80%的芯片，在生产过程中都用了这家公司的光学元件，而它，正是你熟悉的相机镜头品牌蔡司。没错，就是那个和手机厂商联名、做眼镜片的蔡司。 一个做镜头的公司，怎么就卡住了全球芯片制造的脖子？ASML...
中国囤下1400台光刻机后的产业真相:是底气,也是倒逼前行的起点
全球半导体设备封锁战已持续多年，美国主导的围堵网络不断加码，从最先禁止ASML向中国出口EUV光刻机这把通往先进制程的大门钥匙，到进一步限制部分高端浸润式DUV光刻机，再到拉拢荷兰、日本等盟友从设备供应链源头设卡，企图全面切断中国制造高端芯片的可能性。这场被业内称为“全维度围猎”的行动，曾让外界普遍担忧...
EUV光刻机的工作原理及其拆解_哔哩哔哩_bilibili
EUV光刻机的工作原理及其拆解, 视频播放量 2566、弹幕量 8、点赞数 93、投硬币枚数 36、收藏人数 260、转发人数 25, 视频作者 浪人寅, 作者简介 人生得意须尽欢,莫使金樽空对月。,相关视频:新凯来10月15日发布会隐藏投资大机会。,关于中国发展光刻机的现状,网上盲目乐
...难在哪中国是怎么拆解难关的?中国为啥非要硬刚DUV光刻机背后藏...
2025年，计划向中芯国际交付10台以上，良率提升至95。同时，中芯国际开始测试来自宇量昇的国产DUV光刻机。上海微电子首次公开展示EUV光刻机参数。ASML财报预示中国市场将迎来重大变化。从2023年到2027年，中国成熟制程产能占全球的比例将从第一的位置继续扩大。这些数字背后是什么？是千千万万工程师的心血，是一个...
EUV光刻机“秘史”
当时,EUV技术仍面临诸多难题,它能否成为光刻技术的接班人也远未可知:1997年,由美国半导体工业联盟SEMATECH召集的光刻技术工作组将EUV在四种可能的技术中排名垫底,落后于XPL、电子束光刻和离子投影光刻。 尽管前景不明朗,英特尔仍大胆押注极紫外光刻(EUV)技术的未来,投入约2.5亿美元资金以维持EUV研究项目的运转。英特尔...
荷兰觉醒,揭示EUV光刻机难题背后的真相
在荷兰等一些欧美国家和中国的一些专家看来，EUV光刻机这种东西，是由国际分工和全球供应链共同完成的。一个国家能够自主生产出一台EUV光刻机，本身就是一种违背常理的行为。“想要研制出一台光刻机，难度究竟有多大？”甚至有一段时间，国内的一些精英、专家、学者都认为光刻机是一种国际化的产品。我们可以看到，...
下一代EUV光刻机,关键技术拆解 - 知乎
imec了解到掩膜与EUV照明的相互作用越来越重要,因此,他们汇集了完整的掩膜研发生态系统,与供应商一起支持掩膜创新(如新型吸收器)的工业化,并在imec-ASML High NA EUV实验室中通过建模探索掩膜复杂性(如可变性或拼接)。斯蒂芬·希尔还谈道,以上问题都不是引入High NA EUV光刻机的根本问题。为了顺利、及时和高效引入具有最大
EUV光刻机这么重要,为什么我们不能拆了,1:1山寨出来?
那么问题就来了，EUV光刻机，能不能1：1的被山寨出来？还真不能，之前大家不是听过一个传闻么？说中国的科研团队到欧洲去参观光刻机厂，对方说给你们图纸，你们也造不出光刻机……因为EUV光刻机太复杂了，整个EUV光刻机系统，一共有5000多家供应链，遍布全球。而一台EUV光刻机，可以初步拆解成45万套零件...
EUV光刻机“秘史”
光刻技术的最新进展是采用极紫外 (EUV) 光刻技术,该技术使用波长为 13.5 纳米的光在芯片上创建图案。 众所周知,极紫外光刻机仅由荷兰ASML公司一家生产,因此,谁能使用这些机器已成为一个重要的地缘政治问题。然而,尽管机器由ASML制造,但使其得以实现的绝大部分研究工作却是在美国完成的。美国研发领域一些最负盛名...
非蔡司不可?EUV光刻机背后的光学系统
单从EUV的光学系统就可以看出，要想打造这样一台复杂精密的制造设备，自然离不开高水平的光源、镜头加工等。这背后涉及的供应商多如牛毛，比如蔡司加工这些光刻机镜头也需要用到奥美特的精密机床等等。ASML正是因为看重了蔡司在光刻机光学系统上的实力，才选择了2016年投资10亿美元，买入其半导体制造技术部门25%的股份...
EUV光刻机“秘史”
光刻技术的最新进展是采用极紫外 (EUV) 光刻技术,该技术使用波长为 13.5 纳米的光在芯片上创建图案。 众所周知,极紫外光刻机仅由荷兰ASML公司一家生产,因此,谁能使用这些机器已成为一个重要的地缘政治问题。然而,尽管机器由ASML制造,但使其得以实现的绝大部分研究工作却是在美国完成的。美国研发领域一些最负盛名...
万字浅解国产EUV光刻机光学系统 - 知乎
共有三大核心技术,分别为EUV光源系统,高精度弧形离轴反射镜构成的光学系统以及超高精度真空双工件台。其中EUV光学系统就像科幻世界中的虫洞那样,这边是碳基人类的物理世界,那一边则连接着硅基微观赛博世界。 因为几乎所有材料对13.5nm的EUV都强烈吸收,故EUV光刻机不能采用DUV那样的透镜,只能采用反射式光学系统。又因为...
不只是光刻机整机!从气体到管路,国产光刻正在补全最后一块拼图
光刻机，这台被称为“现代工业皇冠上的明珠”的设备，曾是中国半导体产业最深的痛。荷兰ASML的EUV光刻机被层层封锁，7nm以下先进制程的大门似乎对我们紧闭。但很少有人注意到，在整机之外，一条由10家中国企业组成的“光刻生态暗线”正在悄然成型——从整机集成到光学镜头，从特种气体到洁净管路，每个被卡脖子的环节...
EUV光刻机“秘史”
光刻技术的最新进展是采用极紫外 (EUV) 光刻技术,该技术使用波长为 13.5 纳米的光在芯片上创建图案。 众所周知,极紫外光刻机仅由荷兰ASML公司一家生产,因此,谁能使用这些机器已成为一个重要的地缘政治问题。然而,尽管机器由ASML制造,但使其得以实现的绝大部分研究工作却是在美国完成的。美国研发领域一些最负盛名...
荷兰敢硬刚中国背后真相 阿斯麦垄断全球高端光刻机揭秘
呵呵，就好比隔壁小孩拿着最新款游戏机，你只能在旁边干瞪眼，还得忍受羡慕嫉妒恨交织的复杂情绪。但为什么这么个只有四万多平方公里的小国家能玩出这么大的花样？显然，他们没有吃什么神奇蘑菇，而是捧着半导体界的大金饭碗——全球唯一能造顶尖极紫外（EUV）光刻机的阿斯麦公司。如果把半导体产业比成足球联赛，那...