中科院成功研发全固态DUV光源技术!
3月24日消息，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 纳米的相干光（Coherent Light），与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会（SPIE）的官网上。目前，全球主要的DUV光刻机制造商如ASML、Canon和Nikon，均采用氟化氩（...
中科院成功研发全固态DUV光源技术:完全不同于ASML|游民星空
中科院成功研发全固态DUV光源技术:完全不同于ASML 快科技3月25日消息,据悉,中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光,可发射193nm的相干光,与目前主流的DUV曝光波长一致,能将半导体工艺推进至3nm。 据悉,ASML、佳能、尼康的DUV光刻机都采用了氟化氙(ArF)准分子激光技术,通过氩、氟气体混合物在高压电场下...
中科院成功研发全固态DUV光源技术!
3月24日消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会(SPIE)的官网上。 目前,全球主要的DUV光刻机制造商如ASML、Canon和Nikon,均采用氟化氩(ArF)准分...
中科院成功研发全固态DUV光源技术!
3月24日消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会(SPIE)的官网上。 本文引用地址:https://www.eepw.com.cn/article/202503/468561.htm 目前,全...
中国科学院成功研发全固态 DUV 光源技术
中国科学院成功研发全固态 DUV 光源技术 IT之家 3 月 25 日消息，据国际光电工程学会（SPIE）消息，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 nm 的相干光（Coherent Light），该波长目前被用于半导体曝光技术。论文介绍称，深紫外相干光，尤其是 193 nm 波长的光，已成为...
中国科学院成功研发全固态 DUV 光源技术__财经头条
IT之家 3 月 25 日消息,据国际光电工程学会(SPIE)消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 nm 的相干光(Coherent Light),该波长目前被用于半导体曝光技术。 论文介绍称,深紫外相干光,尤其是 193 nm 波长的光,已成为半导体光刻不可或缺的部分。研究人员提出了一种紧凑型...
中科院成功研发全固态DUV光源技术:完全不同于ASML _ 游民星空 GamerSky...
快科技3月25日消息,据悉,中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光,可发射193nm的相干光,与目前主流的DUV曝光波长一致,能将半导体工艺推进至3nm。 据悉,ASML、佳能、尼康的DUV光刻机都采用了氟化氙(ArF)准分子激光技术,通过氩、氟气体混合物在高压电场下生成不稳定分子,释放出193nm波长的光子,然后以高...
中科院成功研发全固态DUV光源技术! – 芯智讯
中科院成功研发全固态DUV光源技术! 2025年03月25日 3月24日消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会(SPIE)的官网上。
中科院成功研发全固态DUV光源技术! 3月24日消息,中国科学院(CAS)研究...
中科院成功研发全固态DUV光源技术! 3月24日消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(CoherentLight),与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会(SPIE)的官网上。
好消息!中科院成功研发全固态DUV光源技术_凤凰网
中科院成功研发全固态DUV光源技术 3月24日消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会(SPIE)的官网上。
中科院成功研发全固态DUV光源技术!--快科技--科技改变未来
中科院成功研发全固态DUV光源技术! 3月24日消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会(SPIE)的官网上。
中科院成功研发全固态DUV光源技术!|纳米|中科院_新浪科技_新浪网
中科院成功研发全固态DUV光源技术! 3月24日消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会(SPIE)的官网上。
中科院成功研发全固态DUV光源技术 突破193nm激光技术_新闻频道...
中科院成功研发全固态DUV光源技术 突破193nm激光技术 中国科学院的研究人员成功研发出一种突破性的固态深紫外激光,能够发射193纳米的相干光。这种波长的光目前被广泛应用于半导体曝光技术中。 研究人员介绍,深紫外相干光尤其是193纳米波长的光已成为半导体光刻不可或缺的部分。他们提出了一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统,...
中科院DUV光源获突破!
据国际光电工程学会（SPIE）报道，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 纳米的相干光（Coherent Light），该波长目前被用于半导体曝光技术。论文已刊登在spiedigitallibrary.org 据报道而这项技术已在中国实验室中实现。如果光源技术能够扩展，此装置就可以用来制造曝光设备，但...
中科院DUV光源获突破! - 知乎
据国际光电工程学会(SPIE)报道,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),该波长目前被用于半导体曝光技术。 论文已刊登在http://spiedigitallibrary.org 据报道而这项技术已在中国实验室中实现。如果光源技术能够扩展,此装置就可以用来制造曝光设备,但至...
中国科学院成功研发全固态 DUV 光源技术_nm_激光_光束
中国科学院成功研发全固态 DUV 光源技术 3月 25 日消息,据国际光电工程学会(SPIE)消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 nm 的相干光(Coherent Light),该波长目前被用于半导体曝光技术。 论文介绍称,深紫外相干光,尤其是 193 nm 波长的光,已成为半导体光刻不可或缺的...
中国DUV关键技术获重大突破
据闪德资讯获悉，国际光电工程学会（SPIE）报道，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光器，能发射193纳米的相干光（Coherent Light），该波长目前被用于半导体曝光技术。而这项技术已在中国实验室中实现。如果光源技术能够扩展，此装置就可以用来制造曝光设备。以传统技术来看，ASML、Canon和...
中科院成功研发全固态DUV光源技术!|纳米|中科院_新浪科技_新浪网
中科院成功研发全固态DUV光源技术! 3月24日消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会(SPIE)的官网上。
能生产3nm!中科院成功研发全固态DUV光源技术:完全不同于ASML--快科技...
中科院成功研发全固态DUV光源技术:完全不同于ASML 快科技3月25日消息,据悉,中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光,可发射193nm的相干光,与目前主流的DUV曝光波长一致,能将半导体工艺推进至3nm。 据悉,ASML、佳能、尼康的DUV光刻机都采用了氟化氙(ArF)准分子激光技术,通过氩、氟气体混合物在高压电场...